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華高儀器于2025年08月01日發(fā)布了文章【日本電子JSM-IT800：多功能臺(tái)式熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡】。作為在儀器設(shè)備行業(yè)服務(wù)了多年的經(jīng)銷商，華高儀器有著專業(yè)的儀器銷售團(tuán)隊(duì)以及售后服務(wù)人員，在采購前期能給客戶一套專業(yè)完善的采購方案以及及時(shí)響應(yīng)的售后服務(wù)。
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在微觀結(jié)構(gòu)觀察與元素分析領(lǐng)域，高精度的成像與分析工具對(duì)材料研究、工業(yè)檢測等工作具有重要意義。日本電子推出的JSM-IT800臺(tái)式熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡，憑借整合的核心技術(shù)與多樣配置，在掃描電鏡領(lǐng)域受到關(guān)注。
1. 核心技術(shù)與系統(tǒng)整合
JSM-IT800整合了三項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，為其性能提供支持：
- **浸沒式肖特基 Plus 場發(fā)射電子槍**：作為電子源，為儀器從高分辨率成像到快速元素分析提供基礎(chǔ)。
- **Neo Engine**：創(chuàng)新的電子光學(xué)控制系統(tǒng)，有助于優(yōu)化電子束的操控與傳輸。
- **SEM Center**：采用無縫GUI系統(tǒng)，將一體化JEOL X射線能量色散譜儀(EDS)作為通用平臺(tái)，支持快速元素分析，提升操作與分析的連貫性。
2. 多樣化物鏡模塊與適用場景
JSM-IT800的物鏡采用可更換模塊設(shè)計(jì)，提供五種版本以適配不同需求：
- 混合型物鏡(HL)：屬于通用型FE-SEM。
- 超級(jí)混合物鏡(SHL/SHLs)：兩種版本各具功能，適用于更高分辨率的觀察和分析工作。
- 半浸沒式物鏡(i/is)：新開發(fā)的兩種版本，適用于納米材料、化學(xué)、新材料、半導(dǎo)體器件的觀察和分析。
3. 性能參數(shù)與檢測能力
不同版本的JSM-IT800在分辨率等參數(shù)上呈現(xiàn)差異。在1kV條件下，HL version的分辨率為1.3nm，is version為1.0nm，i version為0.7nm，SHLs version為1.1nm，SHL version為0.7nm。15kV時(shí)，is version分辨率為0.6nm，i version為0.5nm，SHLs version為0.6nm，SHL version為0.5nm。20kV時(shí)，HL version分辨率為0.7nm。分析狀態(tài)下，HL version在5kV、5nA、WD 10mm條件下分辨率為3.0nm；is version和i version在5kV、5nA、WD 8mm條件下分辨率為3.0nm；SHLs version和SHL version在5kV、5nA、WD 10mm條件下分辨率為3.0nm。
各版本的加速電壓范圍均為0.01-30kV。入射電流方面，HL version和is version的最大值為300nA，i version、SHLs version、SHL version的最大值為500nA。檢測器類型上，HL version配備SED、UED；is version配備SED、UID；i version配備SED、UID、UED；SHLs version和SHL version配備SED、UHD。
在分析功能上，HL version和SHL version支持EDS、WDS、EBSD、CL；is version和i version支持EDS、WDS、CL。
4. 探測器配置與信息獲取
JSM-IT800可配備多種探測器，助力獲取豐富信息：
- **閃爍體背散射電子探測器(SBED)**：在低加速電壓下也能產(chǎn)生清晰的成分襯度，且響應(yīng)性較好，有助于獲取圖像。
- **多功能背散射電子探測器(VBED)**：能夠輔助獲取3D、形貌和成分襯度的圖像，為分析提供更多維度的信息。
這些探測器的配置，使得儀器能夠幫助用戶應(yīng)對(duì)測量中的問題。
5. 可選配組件與擴(kuò)展能力
為滿足不同場景的應(yīng)用需求，JSM-IT800提供多種可選配組件，包括高位電子檢測器(UED)、背散射電子檢測器(BED)、閃爍體背散射電子檢測器(SBED)、多用途背散射電子檢測器(VBED)、透射電子檢測器(TED)等。同時(shí)，低真空相關(guān)的檢測器、電子背散射衍射(EBSD)、波譜儀(WDS)、軟X射線分光器(SXES)等也在可選范圍中。此外，探針電流檢測器、樣品臺(tái)導(dǎo)航系統(tǒng)、樣品室相機(jī)、操作桌、操作面板、LIVE-AI過濾器、SMILE VIEW™ Map等配件，進(jìn)一步擴(kuò)展了儀器的應(yīng)用能力，使其能適應(yīng)更多樣化的實(shí)驗(yàn)與檢測需求。
JSM-IT800通過整合核心技術(shù)、提供多樣化配置及擴(kuò)展選項(xiàng)，為不同領(lǐng)域的微觀觀察與元素分析工作提供了靈活且實(shí)用的工具，在材料科學(xué)、半導(dǎo)體等領(lǐng)域具有一定的應(yīng)用價(jià)值。
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